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直驅(qū)技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備的成功案例

以5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)為代表的“新基建”正火如荼地開展，而以半導(dǎo)體芯片和平板顯示器等高科技產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)則是支撐其蓬勃發(fā)展的重要基石。Hero behind Hero，作為英雄背后的英雄，無論是在刻蝕、PVD、晶圓清洗、晶圓搬運、貼片等半導(dǎo)體生成制造工藝中，您也總能找到科爾摩根的身影。

憑借獨特的高性能直驅(qū)運動控制技術(shù)，科爾摩根成為眾多半導(dǎo)體生產(chǎn)和檢測設(shè)備龍頭企業(yè)的選擇。下面，就讓我們通過幾個應(yīng)用案例來揭秘科爾摩根卓越的半導(dǎo)體設(shè)備直驅(qū)運動控制解決方案能為客戶帶來什么價值吧！

半導(dǎo)體設(shè)備解決方案核心優(yōu)勢：
● 獨特的高性能控制器方案――高精度龍門控制算法及多軸高速同步控制
● 業(yè)界領(lǐng)先的直驅(qū)技術(shù)――直驅(qū)電機實現(xiàn)高速、高精度定位
● 直接驅(qū)動實現(xiàn)精密軌跡控制――簡化設(shè)備結(jié)構(gòu)，并提高設(shè)備性能
● 產(chǎn)品技術(shù)方案穩(wěn)定可靠――擁有全球成熟的行業(yè)經(jīng)驗及本地專業(yè)技術(shù)能力

CMP化學(xué)機械研磨機

針對該研磨設(shè)備所面臨的性能瓶頸，科爾摩根為其提供了驅(qū)動轉(zhuǎn)臺和研磨頭的16軸系統(tǒng)方案，方案集成了科爾摩根的明星產(chǎn)品直驅(qū)電機DDR和高性能標準伺服電機AKM。電機優(yōu)化的電磁設(shè)計有效降低了齒槽效應(yīng)，減少了速度波動。同時，緊湊的電機尺寸節(jié)省了更多安裝空間。而且，熱替換功能允許在不關(guān)閉網(wǎng)絡(luò)的情況下替換節(jié)點，進一步減少了停機時間。 最終，方案幫助用戶實現(xiàn)了用于300mm以及65nm晶圓加工的研磨設(shè)備技術(shù)要求，實現(xiàn)了多軸數(shù)緊密協(xié)同控制，且運動控制可按照要求定制軌跡，幫助設(shè)備獲得了高可靠性和安全性，以及確保零停機時間。

晶圓搬運機器人

面對客戶現(xiàn)有設(shè)備的諸多實際應(yīng)用痛點，如電機安裝在真空環(huán)境中的發(fā)熱控制，電機的真空度適應(yīng)能力提升，中心力矩電機控制需適應(yīng)機器人不同位置和負載重量帶來的負載慣量動態(tài)變化，以及實現(xiàn)運動模塊之間的協(xié)同運動極為平穩(wěn)可靠等要求，科爾摩根技術(shù)專家為其推薦了高性能的KBM無框直驅(qū)電機匹配AKD伺服驅(qū)動器的解決方案。定制化的KBM無框直驅(qū)電機方案，節(jié)省了設(shè)備約40%的安裝空間。同時，控制器提供反向運動學(xué)算法及抑振算法，保障了晶圓搬運機器人的高速平穩(wěn)運行，且實時軌跡修改實現(xiàn)了平穩(wěn)軌跡運動。另外，雙二階濾波器，電機斜槽設(shè)計等手段最大程度減少了轉(zhuǎn)矩紋波，全方位提高了設(shè)備的競爭力。


憑借超過70多年的運動控制經(jīng)驗，全球化的設(shè)計方案，靈活的定制能力，以及本土化的快速供貨，科爾摩根在半導(dǎo)體行業(yè)的眾多機型，比如晶圓激光檢測機、光阻涂布機、晶圓分選機、覆晶貼片機、X光檢測系統(tǒng)、MENS慣性傳感器測試機以及SMT 高速貼片機等設(shè)備類型上都有著成熟的應(yīng)用經(jīng)驗?？茽柲Ω彬?qū)技術(shù)是您改善設(shè)備性能、提高設(shè)備競爭力的不二選擇。