● 模塊化設(shè)計,應(yīng)用了線音圈電機; ● 雙重精密線性交叉滾柱導(dǎo)軌; ● 行程可達20 mm; ● 模塊的設(shè)計配備了線編碼器; ● 線性編碼器的高分辨率有0.1微米,20納米或5納米。