SiGNUM™ RESM 圓光柵系統(tǒng)
SiGNUM™ RESM圓光柵可在高速和高溫條件下提供精度、分辨率和重復(fù)性。它也能提供超低周期誤差和IN-TRAC™光學(xué)參考零位。刻劃精度達(dá)±0.5 arc second,分辨率達(dá)0.002 arc second,RESM圓光柵編碼器系統(tǒng)提供的性能適合大多數(shù)苛刻的精密應(yīng)用。SiGNUM™系列也有直線光柵編碼器系統(tǒng)。
SiGNUM™ RESM圓光柵系統(tǒng)由SR讀書頭、Si 細(xì)分盒接口和 RESM 20 µm環(huán)組成。
- 動(dòng)態(tài)信號(hào)控制確?!?0 nm的周...
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RESM環(huán)是一個(gè)在外圓柱面上直接刻劃20 µm柵線的不銹鋼圓環(huán), 它具有IN-TRAC™ auto-phase光學(xué)參考零位。外形低矮的RESM有寬泛的尺寸(Ø52 mm 到 Ø550 ...
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SiGNUM™軟件是一種基于PC的提供全面的校準(zhǔn),優(yōu)化安裝和實(shí)時(shí)診斷以簡化安裝和系統(tǒng)維護(hù)。Si細(xì)分盒接口通過mini USB連接器與PC連接。