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AirLift115 空氣軸承升降平臺 | 垂直運動平臺 | AirLift115 Air-Bearing Lift Stage
Aerotech AirLift 115 series stages offer the ideal solution for applications that require very stringent Z direction positioning while maintaining extremely tight angular performance over full travel. Applications include semiconductor wafer inspection and testing, noncontact metrology, optical inspection systems and laser processing applications.