TONiC RELM直線光柵系統(tǒng)

RELM因鋼柵尺的膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C,有各種長(zhǎng)度可供選擇。 堅(jiān)固的因鋼柵尺比傳統(tǒng)玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,但操作和安裝更為簡(jiǎn)便,沒(méi)有破損的風(fēng)險(xiǎn)。RELM系統(tǒng)精度達(dá)±1 µm,分辨率達(dá)5 nm,能夠滿足苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需求。
RELM因鋼柵尺的膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C,有各種長(zhǎng)度可供選擇。 堅(jiān)固的因鋼柵尺比傳統(tǒng)玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,但操作和安裝更為簡(jiǎn)便,沒(méi)有破損的風(fēng)險(xiǎn)。RELM系統(tǒng)精度達(dá)±1 µm,分辨率達(dá)5 nm,能夠滿足苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需求。